Применение фильтров сжатого воздуха в полупроводниковой промышленности

Применение фильтров сжатого воздуха в полупроводниковой промышленности имеет решающее значение, что в основном отражается в обеспечении чистоты производственной среды, контроле температуры и влажности, предотвращении утечек вредных газов и удовлетворении потребности оборудования в газе.

Обеспечение чистоты производственной среды

Процесс производства полупроводников чрезвычайно сложен и многообразен. Даже мельчайшие частицы пыли или загрязнители могут вызвать короткое замыкание, дефекты или даже брак микросхем.

Производственный цех по производству полупроводников должен поддерживать высокочистую воздушную среду, и воздушные фильтры являются ключевым оборудованием для достижения этой цели. Во всех аспектах производства полупроводников, таких как фотолитография, травление и осаждение тонких пленок, необходимо строго контролировать твердые частицы в воздухе. Эффективные воздушные фильтры могут эффективно удалять мельчайшие частицы, бактерии, вирусы, химические загрязнители и запахи из воздуха. Благодаря многослойной фильтрации они обеспечивают производственный цех сверхчистым воздухом, соответствующим стандартам, сводя к минимуму влияние примесей на процесс производства микросхем.

Контроль температуры и влажности в процессе производства

Стабильная температура и влажность оказывают важное влияние на характеристики полупроводниковых материалов и точность производственного процесса. Хорошая система фильтрации воздуха может взаимодействовать с системой кондиционирования воздуха для поддержания постоянной температуры и влажности в производственном цехе, чтобы обеспечить стабильность и согласованность процесса производства полупроводников.

Удовлетворение потребности оборудования в газе

· Очистка и охлаждение оборудования: В полупроводниковой промышленности сжатый воздух используется для очистки и охлаждения полупроводникового оборудования. Поскольку мельчайшие частицы и влага в сжатом воздухе удалены, его можно использовать для очистки поверхности и внутренней части оборудования. Кроме того, сжатый воздух также может использоваться для охлаждения полупроводникового оборудования, чтобы обеспечить его нормальную работу и продлить срок службы.

· Контроль условий окружающей среды: Путем подачи сжатого воздуха в производственную среду можно регулировать температуру и влажность для поддержания постоянных рабочих условий. Кроме того, сжатый воздух также может блокировать пыль и примеси, образуя воздушный поток, чтобы поддерживать чистоту производственной среды.

· Обеспечение источника питания: Большое количество сжатого воздуха требуется в производстве полупроводников для обеспечения источника питания для приведения в действие роботизированных манипуляторов, конвейерных лент, холодильников, электрооборудования и транспортировки химикатов. Кроме того, сжатый воздух также может использоваться для транспортировки химикатов, полупроводниковых материалов и т. д. в заданные места в процессе производства с помощью технологии пневматической транспортировки для повышения эффективности производства.